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PW-1500S型聚酰亞胺薄膜的制作過程如下：

（1） 先用丙酮對2英寸的BF33硼硅玻璃基底超聲清洗15 min，再用無水乙醇超聲清洗15 min，最后用去離子水

超聲清洗2次，每次10 min，清洗完后將其放在110 ℃的烘箱中烘30 min；

（2） 用勻膠機（KW-15，中國科學院微電子研究所）旋涂PW-1500S型聚酰亞胺前驅體，低速為300 r/min、時

間為10 s，高速為1 200 r/min、時間為40 s；

（3） 在熱板（AI-508T，中國電子科技集團第十三研究所）上對薄膜進行前烘，溫度為120 ℃，時間為3 min；

（4） 在高溫氮氣烘箱（SG-HX500，中國科學院上海光學精密機械研究所）中對薄膜進行固化，固化參數(shù)為：50 ℃、30 min，140 ℃、30 min，350 ℃、60 min，升溫速率為3.5 ℃/min，整個過程需要氮氣保護，固化后隨爐冷卻。

FB-5410型和ZKPI-520型聚酰亞胺薄膜的制造過程與PW-1500S型聚酰亞胺薄膜的制作過程完全相同，只是聚酰亞胺前驅體的旋涂工藝參數(shù)和前烘工藝參數(shù)略有不同。

FB-5410 型聚酰亞胺前驅體的旋涂工藝參數(shù)為：低速為600 r/min、時間為9 s，高速為1 400r/min、時間為40 s；前烘工藝參數(shù)為：溫度為115 ℃、時間為3 min。ZKPI-520型聚酰亞胺前驅體的旋涂工藝參數(shù)為：低速為600 r/min、時間為9 s，高速為1 200 r/min、時間為40 s；前烘工藝參數(shù)為：溫度為110 ℃、時間為70 s。